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Zeitschriftenartikel

Depth resolution and preferential sputtering in depth profiling of sharp interfaces

MPG-Autoren
/persons/resource/persons75598

Hofmann,  Siegfried
Emeriti and Others, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

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Zitation

Hofmann, S., Han, Y. S., & Wang, J. Y. (2017). Depth resolution and preferential sputtering in depth profiling of sharp interfaces. Applied Surface Science, 410, 354-362. doi:10.1016/j.apsusc.2017.03.110.


Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002E-08EA-C
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