Self-organisation phenomenon in magnetron sputtering plasmas

Hecimovic, A.; Maszl, C.; Schulz von der Gathen, V.; Keudell, A. von

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Vortrag

Self-organisation phenomenon in magnetron sputtering plasmas

MPG-Autoren

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Hecimovic, A.
ITER Technology & Diagnostics (ITED), Max Planck Institute for Plasma Physics, Max Planck Society;
External Organizations;

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Zitation

Hecimovic, A., Maszl, C., Schulz von der Gathen, V., & Keudell, A. v. (2016). Self-organisation phenomenon in magnetron sputtering plasmas. Talk presented at 21st International Colloquium on Plasma Processes (CIP) and the 5th Magnetron Ion Processing & Arc Technologies European Conference (MIATEC). Vienna. 2016-06-26 - 2016-06-30.

Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002D-C113-C

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