Modular deposition chamber for in situ X-ray experiments during RF and DC 
magnetron sputtering

Krause, B.; Darma, S.; Kaufholz, M.; Graefe, H. H.; Ulrich, S.; Mantilla, M.; Weigel, R.; Rembold, S.; Baumbach, T.

doi:10.1107/S0909049511052320

Datensatz

DATENSATZ AKTIONENEXPORT

Zur Ablage hinzufügen

Lokale TagsFreigabegeschichteDetailsÜbersicht

Freigegeben

Zeitschriftenartikel

Modular deposition chamber for in situ X-ray experiments during RF and DC magnetron sputtering

MPG-Autoren

/persons/resource/persons75714

Krause, B.
Dept. Metastable and Low-Dimensional Materials, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

Mantilla, M.
Max Planck Society;

/persons/resource/persons76274

Weigel, R.
Former Central Scientific Facility ANKA Synchroton Beamline, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

Externe Ressourcen

Es sind keine externen Ressourcen hinterlegt

Volltexte (beschränkter Zugriff)

Für Ihren IP-Bereich sind aktuell keine Volltexte freigegeben.

Volltexte (frei zugänglich)

Es sind keine frei zugänglichen Volltexte in PuRe verfügbar

Ergänzendes Material (frei zugänglich)

Es sind keine frei zugänglichen Ergänzenden Materialien verfügbar

Zitation

Krause, B., Darma, S., Kaufholz, M., Graefe, H. H., Ulrich, S., Mantilla, M., et al. (2012). Modular deposition chamber for in situ X-ray experiments during RF and DC magnetron sputtering. Journal of Synchrotron Radiation, 19, 216-222. doi:10.1107/S0909049511052320.

Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-4AD7-2

Zusammenfassung

Es ist keine Zusammenfassung verfügbar