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Substrate Inspecting Apparatus and Substrate Inspecting Method using Same

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Zitation

Son, H., Kim, Y., Yang, J., & Jeon, C.(2007). Substrate Inspecting Apparatus and Substrate Inspecting Method using Same.

Zusammenfassung

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a substrate inspecting method and a substrate inspecting apparatus for accurately measuring defects of patterns. <P>SOLUTION: The substrate inspecting method includes a step for applying an inspection light to a substrate formed with the patterns, a step for sensing an intensity of the inspection light reflected from the substrate, and a step for determining whether there are the defects of the patterns based on the sensed intensity.