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Silicon micromachining technology for sub-nanogram discrete mass resonant biosensors

MPG-Autoren
http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons86448

Reichl,  Udo
Other publications of the MPI staff, Max Planck Institute for Dynamics of Complex Technical Systems, Max Planck Society;

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Zitation

Prescesky, S., Parameswaran, M., Rawicz, A., Turner, R. F. B., & Reichl, U. (1992). Silicon micromachining technology for sub-nanogram discrete mass resonant biosensors. Canadian Journal of Physics, 70(10-11), 1178-1183.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0013-A468-0
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