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Deposition of B4C/BCN/c-BN multilayered thin films by r.f. magnetron sputtering

MPG-Autoren
http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons75443

Enders,  S.
Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

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Zitation

Bejarano, G., Caicedo, J. M., Baca, E., Prieto, P., Balogh, A. G., & Enders, S. (2006). Deposition of B4C/BCN/c-BN multilayered thin films by r.f. magnetron sputtering. Thin Solid Films, 494(1-2), 53-57.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-4656-4
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