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Konferenzbeitrag

Chemical bonds in damaged and pristine low-κ materials: A comparative EELS study

MPG-Autoren
http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons75912

Özdöl,  V. B.
Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons75691

Koch,  C.
Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;
Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons76219

van Aken,  P. A.
Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

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Zitation

Stegmann, H., Özdöl, V. B., Koch, C., van Aken, P. A., Engelmann, J., Potapov, P., et al. (2008). Chemical bonds in damaged and pristine low-κ materials: A comparative EELS study. Microelectronic Engineering, 85, 2169-2171.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-4138-3
Zusammenfassung
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