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Zeitschriftenartikel

Comparative study of the growth of sputtered aluminum oxide films on organic and inorganic substrates

MPG-Autoren
/persons/resource/persons76101

Sellner,  S.
Dept. Metastable and Low-Dimensional Materials, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

/persons/resource/persons76071

Schreiber,  F.
Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

/persons/resource/persons75415

Dosch,  H.
Dept. Metastable and Low-Dimensional Materials, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;
Universität Stuttgart, Institut für Theoretische und Angewandte Physik;

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Zitation

Sellner, S., Gerlach, A., Kowarik, S., Schreiber, F., Dosch, H., Meyer, S., et al. (2008). Comparative study of the growth of sputtered aluminum oxide films on organic and inorganic substrates. Thin Solid Films, (516), 6377-6381.


Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-403F-E
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