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Zeitschriftenartikel

An efficient, simple, and precise way to map strain with nanometer resolution in semiconductor devices

MPG-Autoren
http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons75691

Koch,  C. T.
Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;
Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons75912

Özdöl,  V. B.
Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons76219

van Aken,  P. A.
Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

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Zitation

Koch, C. T., Özdöl, V. B., & van Aken, P. A. (2010). An efficient, simple, and precise way to map strain with nanometer resolution in semiconductor devices. Applied Physics Letters, 96: 091901. doi:10.1063/1.3337090.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3B6C-9
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