The role of delocalized nitrogen in determining the local atomic arrangement 
and mechanical properties of amorphous carbon nitride thin films

Holloway, B. C.; Kraft, O.; Shuh, D. K.; Nix, W. D.; Kelly, M.; Pianetta, P.; Hagström, S.

Datensatz

DATENSATZ AKTIONENEXPORT

Zur Ablage hinzufügen

Lokale TagsFreigabegeschichteDetailsÜbersicht

Freigegeben

Zeitschriftenartikel

The role of delocalized nitrogen in determining the local atomic arrangement and mechanical properties of amorphous carbon nitride thin films

MPG-Autoren

/persons/resource/persons75712

Kraft, O.
Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

Externe Ressourcen

Es sind keine externen Ressourcen hinterlegt

Volltexte (beschränkter Zugriff)

Für Ihren IP-Bereich sind aktuell keine Volltexte freigegeben.

Volltexte (frei zugänglich)

Es sind keine frei zugänglichen Volltexte in PuRe verfügbar

Ergänzendes Material (frei zugänglich)

Es sind keine frei zugänglichen Ergänzenden Materialien verfügbar

Zitation

Holloway, B. C., Kraft, O., Shuh, D. K., Nix, W. D., Kelly, M., Pianetta, P., et al. (2000). The role of delocalized nitrogen in determining the local atomic arrangement and mechanical properties of amorphous carbon nitride thin films. Journal of Vacuum Science and Technology A, 18, 2964-2971.

Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-38C2-E

Zusammenfassung

Es ist keine Zusammenfassung verfügbar