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Hochschulschrift

Der Einfluß von Legierungselementen auf die Elektromigration in Submikrometer Al-Leiterbahnen

MPG-Autoren
http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons75305

Böhm,  J.
Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

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Zitation

Böhm, J. (2001). Der Einfluß von Legierungselementen auf die Elektromigration in Submikrometer Al-Leiterbahnen. Diploma Thesis, Universität Stuttgart, Stuttgart.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-358F-D
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