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Zeitschriftenartikel

Internal friction of copper thin layers on silicon substrates

MPG-Autoren
http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons76235

von der Hagen,  J.
Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons76281

Weller,  M.
Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons75228

Arzt,  E.
Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;
Universität Stuttgart, Institut für Metallkunde;

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Zitation

von der Hagen, J., Weller, M., & Arzt, E. (2002). Internal friction of copper thin layers on silicon substrates. Defect and Diffusion in Metals: An Annual Retrospective IV, 285-288.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3286-A
Zusammenfassung
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