Microstructural evolution of precursor-derived gallium nitride thin films

Puchinger, M.; Kisailus, D. J.; Lange, F. F.; Wagner, T.

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学術論文

Microstructural evolution of precursor-derived gallium nitride thin films

MPS-Authors

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Puchinger, M.
Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

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Wagner, T.
Central Scientific Facility Thin Film Laboratory, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

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引用

Puchinger, M., Kisailus, D. J., Lange, F. F., & Wagner, T. (2002). Microstructural evolution of precursor-derived gallium nitride thin films. Journal of Crystal Growth, 245(3-4), 219-227.

引用: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2FA3-1

要旨

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