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Determination of the interdiffusion coefficient for Si/Al multilayers by auger electron spectroscopical sputter depth profiling

MPG-Autoren
/persons/resource/persons76256

Wang,  J. Y.
Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

/persons/resource/persons76331

Zhao,  Y. H.
Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

/persons/resource/persons75858

Mittemeijer,  E. J.
Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;
Universität Stuttgart, Institut für Materialwissenschaft;

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Zitation

Wang, J. Y., Zalar, A., Zhao, Y. H., & Mittemeijer, E. J. (2003). Determination of the interdiffusion coefficient for Si/Al multilayers by auger electron spectroscopical sputter depth profiling. Thin Solid Films, 433, 92-96.


Zitierlink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2D7E-1
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