de.mpg.escidoc.pubman.appbase.FacesBean
Deutsch
 
Hilfe Wegweiser Impressum Kontakt Einloggen
  DetailsucheBrowse

Datensatz

DATENSATZ AKTIONENEXPORT

Freigegeben

Hochschulschrift

Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid/Siliciumnitrid-Schichten

MPG-Autoren
http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons75661

Kauffmann,  F.
Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

Externe Ressourcen
Es sind keine Externen Ressourcen verfügbar
Volltexte (frei zugänglich)
Es sind keine frei zugänglichen Volltexte verfügbar
Ergänzendes Material (frei zugänglich)
Es sind keine frei zugänglichen Ergänzenden Materialien verfügbar
Zitation

Kauffmann, F. (2003). Mikrostruktur und Eigenschaften von Titannitrid/Siliciumnitrid-Schichten. PhD Thesis, Universität Stuttgart, Stuttgart.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2C56-1
Zusammenfassung
Es ist keine Zusammenfassung verfügbar