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Zeitschriftenartikel

Analysis of local strain in aluminum interconnects by convergent beam electron diffraction

MPG-Autoren
http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons75711

Krämer,  S.
Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons76232

Volkert,  C. A.
Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons75839

Mayer,  J.
Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

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Zitation

Krämer, S., Volkert, C. A., & Mayer, J. (2003). Analysis of local strain in aluminum interconnects by convergent beam electron diffraction. Microscopy and Microanalysis, 9(5), 390-398.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2C3C-0
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