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Konferenzbeitrag

Layered nanostructures for the determination of physical parameters in sputter depth profiling

MPG-Autoren
http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons75598

Hofmann,  S.
Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society;

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Zitation

Hofmann, S. (2004). Layered nanostructures for the determination of physical parameters in sputter depth profiling. In Proceedings of the First International Symposium on Standard Materials and Metrology for Nanotechnology (SMAM 1) (pp. 20-27).


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2BCF-C
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