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Zeitschriftenartikel

Silicon on insulator nanoscale backside interconnects for atomic and molecular scale circuits

MPG-Autoren
http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons48886

Tun,  T. N.
MPI for Polymer Research, Max Planck Society;

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Zitation

Lwin, M. H. T., Tun, T. N., Kim, H. H., Kajen, R. S., Chandrasekhar, N., & Joachim, C. (2010). Silicon on insulator nanoscale backside interconnects for atomic and molecular scale circuits. Journal of Vacuum Science & Technology B, 28(5), 978-984.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-000F-7387-0
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