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Hochschulschrift

Optimierung der Schichteigenschaften von PEVCD-Siliziumnitrid/Siliziumoxinitrid-Wellenleitern und Realisierung eines planaren Biosensors

MPG-Autoren
http://pubman.mpdl.mpg.de/cone/persons/resource/persons48577

Petigk,  Thomas
MPI for Polymer Research, Max Planck Society;

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Zitation

Petigk, T. (2002). Optimierung der Schichteigenschaften von PEVCD-Siliziumnitrid/Siliziumoxinitrid-Wellenleitern und Realisierung eines planaren Biosensors. Diploma Thesis, Fachhochschule, Wiesbden.


Zitierlink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-000F-6749-C
Zusammenfassung
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