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  Fabrication of porous silicon-based optical sensors using metal-assisted chemical etching

Balderas-Valadez, R., Agarwal, V., & Pacholski, C. (2016). Fabrication of porous silicon-based optical sensors using metal-assisted chemical etching. RSC Advances, 6(26), 21430-21434. doi:10.1039/c5ra26816h.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002B-7BD3-F Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-002E-682F-7
Genre: Zeitschriftenartikel

Dateien

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:
RSCAdv_6_2016_21430.pdf (beliebiger Volltext), 2MB
 
Datei-Permalink:
-
Name:
RSCAdv_6_2016_21430.pdf
Beschreibung:
-
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Eingeschränkt (Max Planck Institute for Medical Research, MHMF; )
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf
Technische Metadaten:
Copyright Datum:
-
Copyright Info:
-
Lizenz:
-

Externe Referenzen

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externe Referenz:
http://pubs.rsc.org/en/content/articlepdf/2016/ra/c5ra26816h (beliebiger Volltext)
Beschreibung:
-
OA-Status:
externe Referenz:
https://dx.doi.org/10.1039/C5RA26816H (beliebiger Volltext)
Beschreibung:
-
OA-Status:

Urheber

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 Urheber:
Balderas-Valadez, R.F., Autor
Agarwal, V., Autor
Pacholski, Claudia1, 2, Autor           
Affiliations:
1Cellular Biophysics, Max Planck Institute for Medical Research, Max Planck Society, ou_2364731              
2Biophysical Chemistry, Institute of Physical Chemistry, University of Heidelberg, 69120 Heidelberg, Germany, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: -
 Zusammenfassung: Optical biosensors based on porous silicon were fabricated by metal assisted chemical etching. Thereby double layered porous silicon structures were obtained consisting of porous pillars with large pores on top of a porous silicon layer with smaller pores. These structures showed a similar sensing performance in comparison to electrochemically produced porous silicon interferometric sensors.

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2015-12-152016-02-1720162016
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: 5
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: DOI: 10.1039/c5ra26816h
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: RSC Advances
  Kurztitel : RSC Adv.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: Cambridge, UK : Royal Society of Chemistry
Seiten: - Band / Heft: 6 (26) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 21430 - 21434 Identifikator: ISSN: 2046-2069
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/2046-2069