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Titel:
Resonant MEMS: fundamentals, implementation, and application
Genre der Quelle:
Buch
Urheber:
Brand, O., Herausgeber
Dufour, I., Herausgeber
Heinrich, S., Herausgeber
Josse, F., Herausgeber
Affiliations:
-
Ort, Verlag, Ausgabe:
Weinheim : Wiley-VCH
Seiten:
-
Band / Heft:
-
Artikelnummer:
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Start- / Endseite:
261 - 286
Identifikator:
ISBN: 978-3-527-33545-9