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  Enabling technologies for system-level simulation of MEMS

Bechtold, T., Schrag, G., & Feng, L. (2013). Enabling technologies for system-level simulation of MEMS. In Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE) (pp. 1-6).

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0014-724D-A Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0025-6868-9
Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Bechtold, Tamara1, Autor
Schrag, Gabriele2, Autor
Feng, Lihong3, Autor           
Affiliations:
1IMTEK, Freiburg University, Institute for Microsystems Engineering, Germany , ou_persistent22              
2Technische Universität München, Institute for Physics of Electrotechnology, Germany , ou_persistent22              
3Computational Methods in Systems and Control Theory, Max Planck Institute for Dynamics of Complex Technical Systems, Max Planck Society, ou_1738141              

Inhalt

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Details

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Sprache(n):
 Datum: 2013
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: DOI: 10.1109/EuroSimE.2013.6529994
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: EuroSimE 2013 - 14th International Conference on Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems
Veranstaltungsort: Wroclaw, Poland
Start-/Enddatum: 2013-04-14 - 2013-04-17

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thermal, Mechanical and Multi-Physics Simulation and Experiments in Microelectronics and Microsystems (EuroSimE)
Genre der Quelle: Konferenzband
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: 669 p. Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: 1 - 6 Identifikator: ISBN: 978-146736138-5