System-level Modeling of MEMS

Bechtold, Tamara; Schrag, Gabriele; Feng, Lihong

doi:10.1002/9783527647132

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System-level Modeling of MEMS

Bechtold, T., Schrag, G., & Feng, L. (Eds.). (2013). System-level Modeling of MEMS. Weinheim: Wiley-VCH.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0013-87FA-0 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0027-AA65-B

Genre: Buch

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Urheber:
Bechtold, Tamara¹, Herausgeber
Schrag, Gabriele², Herausgeber
Feng, Lihong³, Herausgeber

Affiliations:
1University of Freiburg, Germany, ou_persistent22
2Munich Univ. of Technology, Germany, ou_persistent22
3Computational Methods in Systems and Control Theory, Max Planck Institute for Dynamics of Complex Technical Systems, Max Planck Society, ou_1738141