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  Thin tantalum-silicon-oxygen/tantalum-silicon-nitrogen films as high efficiency humidity diffusion barriers for solar cell encapsulation

Heuer, H., Wenzel, C., Herrmann, D., Hubner, R., Zhang, Z. L., & Bartha, J. W. (2006). Thin tantalum-silicon-oxygen/tantalum-silicon-nitrogen films as high efficiency humidity diffusion barriers for solar cell encapsulation. Thin Solid Films, 515(4), 1612-1617.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-44FF-7 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-4500-A
Genre: Zeitschriftenartikel
Alternativer Titel : Thin Solid Films

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Heuer, H.1, Autor
Wenzel, C.1, Autor
Herrmann, D.1, Autor
Hubner, R.1, Autor
Zhang, Z. L.2, Autor           
Bartha, J. W.1, Autor
Affiliations:
1Tech Univ Dresden, IHM, D-01062 Dresden, Germany; ZSW Forsch, D-70565 Stuttgart, Germany; Leibniz Inst Festkorper & Werkstoffforsch Dresden, IFW, D-01069 Dresden, Germany, ou_persistent22              
2Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497657              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Emeriti and Others;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2006-12-05
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 318153
ISI: 000242931900061
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thin Solid Films
  Alternativer Titel : Thin Solid Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 515 (4) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 1612 - 1617 Identifikator: ISSN: 0040-6090