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  Atomistic Simulation of Silicon Bombardment by Energetic CF3+: Product Distribution and Energies

Abrams, C. F., & Graves, D. B. (2000). Atomistic Simulation of Silicon Bombardment by Energetic CF3+: Product Distribution and Energies. Thin Solid Films, 374, 150-156.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-000F-6A24-2 Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-000F-6A25-F
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Abrams, C. F.1, Autor           
Graves, D. B., Autor
Affiliations:
1MPI for Polymer Research, Max Planck Society, ou_1309545              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2000
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 285413
Anderer: P-00-243
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thin Solid Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 374 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 150 - 156 Identifikator: -