Optimierung der Schichteigenschaften von 
PEVCD-Siliziumnitrid/Siliziumoxinitrid-Wellenleitern und Realisierung eines 
planaren Biosensors

Petigk, Thomas

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Optimierung der Schichteigenschaften von PEVCD-Siliziumnitrid/Siliziumoxinitrid-Wellenleitern und Realisierung eines planaren Biosensors

Petigk, T. (2002). Optimierung der Schichteigenschaften von PEVCD-Siliziumnitrid/Siliziumoxinitrid-Wellenleitern und Realisierung eines planaren Biosensors. Diploma Thesis, Fachhochschule, Wiesbden.

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Item Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-000F-6749-C Version Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-000F-674A-A

Genre: Thesis

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Creators:
Petigk, Thomas¹, Author

Affiliations:
1MPI for Polymer Research, Max Planck Society, ou_1309545

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Language(s): deu - German

Dates: Accepted: 2002

Publication Status: Accepted / In Press

Pages: 145

Publishing info: Wiesbden : Fachhochschule

Table of Contents: -

Rev. Type: -

Identifiers: eDoc: 65227
Other: D 2/02

Degree: Diploma

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