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  Polarization and phase shifting interferometry

Rothau, S., Manthel, K., & Lindlein, N. (2017). Polarization and phase shifting interferometry. In OPTICAL MEASUREMENT SYSTEMS FOR INDUSTRIAL INSPECTION X. 1000 20TH ST, PO BOX 10, BELLINGHAM, WA 98227-0010 USA: SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING. doi:10.1117/12.2269720.

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Basisdaten

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Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Rothau, Sergej1, Autor           
Manthel, Klaus2, Autor
Lindlein, Norbert1, Autor           
Affiliations:
1Optical Design and Microoptics, Leuchs Division, Max Planck Institute for the Science of Light, Max Planck Society, ou_2364704              
2external, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: Instruments & Instrumentation; Optics; polarimetry; phase shifting interferometry; retardation measurement;
 Zusammenfassung: This publication presents a novel interferometric method for the simultaneous measurement of the phase and state of polarization of a light wave with arbitrary, in particular locally varying elliptical polarization. The measurement strategy is based on variations of the reference wave concerning phase and polarization and processing the interference patterns so obtained. With this method, that is very similar to the classical phase shifting interferometry, a complete analysis of spatially variant states of polarization and their phase fronts can be done in one measurement cycle. Furthermore, a direct analysis of specimens under test regarding birefringence and the impact on the phase of the incoming light can be realized. The theoretical description of the investigated methods and their experimental implementation are presented.

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2017
 Publikationsstatus: Online veröffentlicht
 Seiten: 7
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: ISI: 000407289600001
DOI: 10.1117/12.2269720
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: Conference on Optical Measurement Systems for Industrial Inspection X part of the SPIE Optical Metrology Symposium
Veranstaltungsort: Munich, GERMANY
Start-/Enddatum: 2017-06-26 - 2017-06-29

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: OPTICAL MEASUREMENT SYSTEMS FOR INDUSTRIAL INSPECTION X
Genre der Quelle: Konferenzband
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: 1000 20TH ST, PO BOX 10, BELLINGHAM, WA 98227-0010 USA : SPIE-INT SOC OPTICAL ENGINEERING
Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: UNSP 1032903 Start- / Endseite: - Identifikator: ISSN: 0277-786X
ISBN: 978-1-5106-1104-7; 978-1-5106-1103-0

Quelle 2

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Titel: Proceedings of SPIE
Genre der Quelle: Reihe
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 10329 Artikelnummer: - Start- / Endseite: - Identifikator: ISSN: 0277-786X