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  Enabling technologies for system-level simulation of MEMS

Bechtold, T., Schrag, G., & Feng, L. (2014). Enabling technologies for system-level simulation of MEMS. In Electronics System-Integration Technology Conference (ESTC), 2014 (pp. 1-6).

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0024-6628-E Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0025-1FF7-1
Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Bechtold, Tamara1, Autor
Schrag, Gabriele2, Autor
Feng, Lihong3, Autor           
Affiliations:
1Institute for Microsystems Engineering - IMTEK, Freiburg University, Germany, ou_persistent22              
2Institute for Physics of Electrotechnology, Technische Universität München, Germany, ou_persistent22              
3Computational Methods in Systems and Control Theory, Max Planck Institute for Dynamics of Complex Technical Systems, Max Planck Society, ou_1738141              

Inhalt

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Details

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Sprache(n):
 Datum: 2014
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: DOI: 10.1109/ESTC.2014.6962795
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: Electronics System-Integration Technology Conference (ESTC 2014)
Veranstaltungsort: Helsinki, Finland
Start-/Enddatum: 2014-09-16 - 2014-09-18

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Electronics System-Integration Technology Conference (ESTC), 2014
Genre der Quelle: Konferenzband
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: 1 - 6 Identifikator: -