Analytical and numerical depth resolution functions in sputter profiling

Hofmann, S.; Liu, Y.; Wang, J. Y.; Kovac, J.

doi:10.1016/j.apsusc.2014.06.159

Analytical and numerical depth resolution functions in sputter profiling

Hofmann, S., Liu, Y., Wang, J. Y., & Kovac, J. (2014). Analytical and numerical depth resolution functions in sputter profiling. Applied Surface Science, 314, 942-955. doi:10.1016/j.apsusc.2014.06.159.

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資料種別: 学術論文

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Hofmann, S.¹, 著者
Liu, Y.², 著者
Wang, J. Y.², 著者
Kovac, J.³, 著者

所属:
1Emeriti and Others, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497650
2Department of Physics, Shantou University, 243 Daxue Road, Shantou, 515063 Guangdong, China, ou_persistent22
3Department of Surface Engineering and Optoelectronics F4, Jozef Stefan Institute, Jamova 39, 1000 Ljubljana, Slovenia, ou_persistent22

内容説明

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キーワード: Emeriti and Others Received 9 May 2014, Revised 26 June 2014, Accepted 26 June 2014, Available online 5 July 2014

要旨: -

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言語: eng - English

日付: 出版: 2014

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: DOI: 10.1016/j.apsusc.2014.06.159

学位: -

訴訟

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出版物 1

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出版物名: Applied Surface Science

種別: 学術雑誌

著者・編者:

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 314 通巻号: - 開始・終了ページ: 942 - 955 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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