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Titel:
Journal of Vacuum Science & Technology B-Microelectronics Processing and Phenomena
Genre der Quelle:
Zeitschrift
Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe:
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Seiten:
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Band / Heft:
9 (N2)
Artikelnummer:
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Start- / Endseite:
1276 - 1281
Identifikator:
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