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  Periodic pillar structures by Si etching of multilayer GeSi/Si islands

Zhong, Z., Katsaros, G., Stoffel, M., Costantini, G., Kern, K., Schmidt, O. G., et al. (2005). Periodic pillar structures by Si etching of multilayer GeSi/Si islands. Applied Physics Letters, 87(26): 263102.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-48A6-D Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-48A7-B
Genre: Zeitschriftenartikel
Alternativer Titel : Appl. Phys. Lett.

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Zhong, Z.1, Autor
Katsaros, G.1, Autor
Stoffel, M.1, Autor
Costantini, G.1, Autor
Kern, K.1, Autor
Schmidt, O. G.1, Autor
Jin-Phillipp, N. Y.2, 3, 4, Autor           
Bauer, G.5, Autor
Affiliations:
1Max Planck Society, ou_persistent13              
2Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497657              
3Dept. Metastable and Low-Dimensional Materials, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497645              
4Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497669              
5Max Planck Inst Festkorperforsch, D-70569 Stuttgart, Germany; Johannes Kepler Univ, Inst Semicond Phys, A-4040 Linz, Austria., ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; MPI für Festkörperforschung; Abt. Dosch; Kern;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2005-12-26
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 256539
ISI: 000234338700074
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Applied Physics Letters
  Alternativer Titel : Appl. Phys. Lett.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 87 (26) Artikelnummer: 263102 Start- / Endseite: - Identifikator: ISSN: 0003-6951