Deutsch
 
Hilfe Datenschutzhinweis Impressum
  DetailsucheBrowse

Datensatz

 
 
DownloadE-Mail
  Passivation effects in copper thin films

Wiederhirn, G., Balk, T. J., Dehm, G., Nucci, J., Richter, G., & Arzt, E. (2006). Passivation effects in copper thin films. In E. Zschech, K. Maex, P. S. Ho, H. Kawasaki, & a. T. Nakamura (Eds.), Stress-Induced Phenomena in Metallization (pp. 185-191). Melville, N.Y.: AIP.

Item is

Externe Referenzen

einblenden:

Urheber

einblenden:
ausblenden:
 Urheber:
Wiederhirn, G.1, Autor           
Balk, T. J.1, Autor           
Dehm, G.1, Autor           
Nucci, J.1, Autor           
Richter, G.2, Autor           
Arzt, E.1, 3, Autor           
Affiliations:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              
2Central Scientific Facility Thin Film Laboratory, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497640              
3Universität Stuttgart, Institut für Metallkunde, ou_persistent22              

Inhalt

einblenden:
ausblenden:
Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt; ZWE Dünnschichtlabor; thin films mechanics, passivation, thermomechanical behavior
 Zusammenfassung: -

Details

einblenden:
ausblenden:
Sprache(n): eng - English
 Datum: 2006
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 282459
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

einblenden:
ausblenden:
Titel: Stress-Induced Phenomena in Metallization. 8th International Workshop
Veranstaltungsort: Dresden
Start-/Enddatum: 2005-09-12 - 2005-09-14

Entscheidung

einblenden:

Projektinformation

einblenden:

Quelle 1

einblenden:
ausblenden:
Titel: Stress-Induced Phenomena in Metallization
Genre der Quelle: Konferenzband
 Urheber:
Zschech, E., Herausgeber
Maex, K., Herausgeber
Ho, P. S., Herausgeber
Kawasaki, H., Herausgeber
Nakamura, and T., Herausgeber
Affiliations:
-
Ort, Verlag, Ausgabe: Melville, N.Y. : AIP
Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: 185 - 191 Identifikator: -

Quelle 2

einblenden:
ausblenden:
Titel: AIP conference proceedings
Genre der Quelle: Reihe
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 817 Artikelnummer: - Start- / Endseite: - Identifikator: -