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  Oxidation and reduction of ultrathin nanocrystalline Ru films on silicon: model system for Ru-capped extreme ultraviolet lithography optics

He, Y., Goriachko, A., Korte, C., Farkas, A., Mellau, G., Dudin, P., et al. (2007). Oxidation and reduction of ultrathin nanocrystalline Ru films on silicon: model system for Ru-capped extreme ultraviolet lithography optics. Journal of Physical Chemistry C, 111(24), 10988-10992.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-42A9-E Versions-Permalink: http://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-42AA-C
Genre: Zeitschriftenartikel
Alternativer Titel : J. Phys. Chem. C

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
He, Y.B1, Autor              
Goriachko, A.2, Autor
Korte, C.2, Autor
Farkas, A.2, Autor
Mellau, G.2, Autor
Dudin, P.2, Autor
Gregoratti, L.2, Autor
Barinov, A.2, Autor
Kiskinova, M.2, Autor
Stierle, A.3, Autor              
Kasper, N.1, Autor              
Bajt, S.2, Autor
Over, H.2, Autor
Affiliations:
1Dept. Metastable and Low-Dimensional Materials, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, escidoc:1497645              
2Department of Physical Chemistry, Justus-Liebig-University, Heinrich-Buff-Ring, 35392 Giessen, Germany; Sincrotrone Trieste, Area Science Park, 34012 Basovizza-Trieste, Italy; Lawrence Livermore Laboratory, 700 East Avenue, Livermore, California 94550, USA, escidoc:persistent22              
3Former Central Scientific Facility ANKA Synchroton Beamline, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, escidoc:1497651              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Dosch;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - Englisch
 Datum: 2007-05-11
 Publikationsstatus: Im Druck publiziert
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 333648
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Physical Chemistry C
  Alternativer Titel : J. Phys. Chem. C
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 111 (24) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 10988 - 10992 Identifikator: -