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  Comparative study of the growth of sputtered aluminum oxide films on organic and inorganic substrates

Sellner, S., Gerlach, A., Kowarik, S., Schreiber, F., Dosch, H., Meyer, S., Pflaum, J., & Ulbricht, G. (2008). Comparative study of the growth of sputtered aluminum oxide films on organic and inorganic substrates. Thin Solid Films, (516), 6377-6381.

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基本情報

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資料種別: 学術論文

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作成者

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 作成者:
Sellner, S.1, 著者           
Gerlach, A.2, 著者
Kowarik, S.2, 著者
Schreiber, F.3, 著者           
Dosch, H.1, 4, 著者           
Meyer, S.2, 著者
Pflaum, J.2, 著者
Ulbricht, G.2, 著者
所属:
1Dept. Metastable and Low-Dimensional Materials, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497645              
2Institut für Theoretische und Angewandte Physik, Universität Stuttgart, Pfaffenwaldring 57, 70550 Stuttgart, Germany; Institut für Angewandte Physik, Universität Tübingen, Auf der Morgenstelle 10, 72076 Tübingen, Germany; Physical and Theoretical Chemistry Laboratory, Oxford University, South Parks Road, Oxford OX1 3QZ, United Kingdom; III. Physikalisches Institut, Universität Stuttgart, Paffenwaldring 57, 70550 Stuttgart, Germany, Max-Planck-Institut für Festkörperforschung, Heisenbergstr. 3, 70569 Stuttgart, Germany;, ou_persistent22              
3Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497644              
4Universität Stuttgart, Institut für Theoretische und Angewandte Physik, ou_persistent22              

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Abt. Dosch;
 要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2008
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子(DOI, ISBNなど): eDoc: 361973
 学位: -

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訴訟

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出版物 1

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出版物名: Thin Solid Films
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: -
ページ: - 巻号: (516) 通巻号: - 開始・終了ページ: 6377 - 6381 識別子(ISBN, ISSN, DOIなど): -