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  Ultimate depth resolution and profile reconstruction in sputter profiling with AES and SIMS

Hofmann, S. (2000). Ultimate depth resolution and profile reconstruction in sputter profiling with AES and SIMS. Surface and Interface Analysis, 30, 228-233.

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Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Hofmann, S.1, Autor           
Affiliations:
1Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497644              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Mittemeijer;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n):
 Datum: 2000
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 200582
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Surface and Interface Analysis
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 30 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 228 - 233 Identifikator: -