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  The role of delocalized nitrogen in determining the local atomic arrangement and mechanical properties of amorphous carbon nitride thin films

Holloway, B. C., Kraft, O., Shuh, D. K., Nix, W. D., Kelly, M., Pianetta, P., et al. (2000). The role of delocalized nitrogen in determining the local atomic arrangement and mechanical properties of amorphous carbon nitride thin films. Journal of Vacuum Science and Technology A, 18, 2964-2971.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-38C2-E Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-38C3-C
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Holloway, B. C., Autor
Kraft, O.1, Autor           
Shuh, D. K., Autor
Nix, W. D., Autor
Kelly, M., Autor
Pianetta, P., Autor
Hagström, S., Autor
Affiliations:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n):
 Datum: 2000
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 199002
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Vacuum Science and Technology A
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 18 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 2964 - 2971 Identifikator: -