Der Einfluß von Legierungselementen auf die Elektromigration in Submikrometer 
Al-Leiterbahnen

Böhm, J.

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Der Einfluß von Legierungselementen auf die Elektromigration in Submikrometer Al-Leiterbahnen

Böhm, J. (2001). Der Einfluß von Legierungselementen auf die Elektromigration in Submikrometer Al-Leiterbahnen. Diploma Thesis, Universität Stuttgart, Stuttgart.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-358F-D Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3590-7

Genre: Hochschulschrift

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Urheber:
Böhm, J.¹, Autor

Affiliations:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655