Der Einfluß von Legierungselementen auf die Elektromigration in Submikrometer 
Al-Leiterbahnen

Böhm, J.

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Der Einfluß von Legierungselementen auf die Elektromigration in Submikrometer Al-Leiterbahnen

Böhm, J. (2001). Der Einfluß von Legierungselementen auf die Elektromigration in Submikrometer Al-Leiterbahnen. Diploma Thesis, Universität Stuttgart, Stuttgart.

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Item Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-358F-D Version Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3590-7

Genre: Thesis

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Böhm, J.¹, Author

Affiliations:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655

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Free keywords: MPI für Intelligente Systeme; Ehemalige Abt. Arzt;

Abstract: -

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Language(s):

Dates: Accepted: 2001-01-17

Publication Status: Accepted / In Press

Pages: 71 S.

Publishing info: Stuttgart : Universität Stuttgart

Table of Contents: -

Rev. Type: -

Identifiers: eDoc: 27490

Degree: Diploma

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