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Datensatz

DATENSATZ AKTIONENEXPORT
  Profile reconstruction in sputter depth profiling

Hofmann, S. (2001). Profile reconstruction in sputter depth profiling. Thin Solid Films, 398, 336-342.

Item is

Basisdaten

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Genre: Zeitschriftenartikel
Alternativer Titel : Thin Solid Films

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Hofmann, S.1, Autor           
Affiliations:
1Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497644              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Mittemeijer; depth profiling; depth resolution function; delta layers; atomic mixing
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2001-11-01
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 20441
ISI: 000172906200058
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thin Solid Films
  Alternativer Titel : Thin Solid Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 398 Artikelnummer: - Start- / Endseite: 336 - 342 Identifikator: ISSN: 0040-6090