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  Improvement of the depth resolution in sputter depth profiling by elastic peak electron spectroscopy

Kesler, V., & Hofmann, S. (2002). Improvement of the depth resolution in sputter depth profiling by elastic peak electron spectroscopy. Surface and Interface Analysis, 33(8), 635-639.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3054-C Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-3055-A
Genre: Zeitschriftenartikel
Alternativer Titel : Surf. Interface Anal.

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Kesler, V.1, Autor
Hofmann, S.2, Autor           
Affiliations:
1SB AS Russia, Inst Semicond Phys, Novosibirsk, Russia, ou_persistent22              
2Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497644              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Mittemeijer; depth profiling; elastic peak spectroscopy; Ge/Si multilayers; MRI model
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2002-08
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 6727
ISI: 000177531100002
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Surface and Interface Analysis
  Alternativer Titel : Surf. Interface Anal.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 33 (8) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 635 - 639 Identifikator: ISSN: 0142-2421