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  Growth of electromigration-induced hillocks in Al interconnects

Nucci, J. A., Straub, A., Bischoff, E., Arzt, E., & Volkert, C. A. (2002). Growth of electromigration-induced hillocks in Al interconnects. Journal of Materials Research, 17(10), 2727-2735.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2FE6-B Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2FE7-9
Genre: Zeitschriftenartikel
Alternativer Titel : J. Mater. Res.

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:
41-ar_2002.pdf (Zusammenfassung), 57KB
 
Datei-Permalink:
-
Name:
41-ar_2002.pdf
Beschreibung:
-
OA-Status:
Sichtbarkeit:
Eingeschränkt (Max Planck Institute for Intelligent Systems, MSMT; )
MIME-Typ / Prüfsumme:
application/pdf
Technische Metadaten:
Copyright Datum:
-
Copyright Info:
eDoc_access: INSTITUT
Lizenz:
-

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Nucci, J. A.1, Autor           
Straub, A.1, Autor           
Bischoff, E.2, 3, Autor           
Arzt, E.1, 4, Autor           
Volkert, C. A.1, Autor           
Affiliations:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              
2Former Central Scientific Facility Metallography, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497652              
3Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, DE, ou_1497657              
4Universität Stuttgart, Institut für Metallkunde, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt; Abt. Rühle; ZWE Metallographie; 41-ar_2002;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2002-10
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 6693
ISI: 000178351400035
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Journal of Materials Research
  Alternativer Titel : J. Mater. Res.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 17 (10) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 2727 - 2735 Identifikator: ISSN: 0884-2914