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  Layered nanostructures for the determination of physical parameters in sputter depth profiling

Hofmann, S. (2004). Layered nanostructures for the determination of physical parameters in sputter depth profiling. In Proceedings of the First International Symposium on Standard Materials and Metrology for Nanotechnology (SMAM 1) (pp. 20-27).

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2BCF-C Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-2BD0-6
Genre: Konferenzbeitrag

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Hofmann, S.1, Autor           
Affiliations:
1Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497644              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Intelligente Systeme; Emeriti and Others;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2004
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 218232
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Titel: First International Symposium on Standard Materials and Metrology for Nanotechnology
Veranstaltungsort: Tokyo
Start-/Enddatum: 2004-03-15 - 2004-03-16

Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Proceedings of the First International Symposium on Standard Materials and Metrology for Nanotechnology (SMAM 1)
Genre der Quelle: Konferenzband
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: - Artikelnummer: - Start- / Endseite: 20 - 27 Identifikator: -