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  Microstructural size effects on the hardness of nanocrystalline TiN/amorphous-SiNx coatings prepared by magnetron sputtering

Kauffmann, F., Dehm, G., Schier, V., Schattke, A., Beck, T., Lang, S., et al. (2005). Microstructural size effects on the hardness of nanocrystalline TiN/amorphous-SiNx coatings prepared by magnetron sputtering. Thin Solid Films, 473(1), 114-122.

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Basisdaten

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Datensatz-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-26E8-F Versions-Permalink: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-26E9-D
Genre: Zeitschriftenartikel

Externe Referenzen

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Urheber

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 Urheber:
Kauffmann, F.1, Autor           
Dehm, G.1, Autor           
Schier, V.2, Autor
Schattke, A.2, Autor
Beck, T.3, Autor           
Lang, S.2, Autor
Arzt, E.1, 4, Autor           
Affiliations:
1Former Dept. Micro/Nanomechanics of Thin Films and Biological Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497655              
2Walter AG, Derendinger Str. 53, Postfach 20 49, 72072 Tübingen, Germany Robert Bosch GmbH, Postfach 10 60 50, 70049 Stuttgart, Germany, ou_persistent22              
3Dept. Metastable and Low-Dimensional Materials, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497645              
4Universität Stuttgart, Institut für Metallkunde, ou_persistent22              

Inhalt

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Schlagwörter: MPI für Metallforschung; Abt. Arzt;
 Zusammenfassung: -

Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 2005-02-01
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: Expertenbegutachtung
 Identifikatoren: eDoc: 240307
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Thin Solid Films
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 473 (1) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 114 - 122 Identifikator: -