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Titel:
Microelectronic Engineering
Alternativer Titel
:
Microelectron. Eng.
Genre der Quelle:
Zeitschrift
Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe:
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Seiten:
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Band / Heft:
87 (5-8)
Artikelnummer:
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Start- / Endseite:
1569 - 1574
Identifikator:
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