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  Room temperature silicon wafer bonding with ultra-thin polymer films

Kräuter, G., Schumacher, A., Gösele, U., Jaworek, T., & Wegner, G. (1997). Room temperature silicon wafer bonding with ultra-thin polymer films. Advanced Materials, 9(5), 417-420.

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Urheber

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 Urheber:
Kräuter, G., Autor
Schumacher, A., Autor
Gösele, U., Autor
Jaworek, T.1, Autor           
Wegner, Gerhard1, Autor           
Affiliations:
1MPI for Polymer Research, Max Planck Society, ou_1309545              

Inhalt

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Details

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Sprache(n): eng - English
 Datum: 1997
 Publikationsstatus: Erschienen
 Seiten: -
 Ort, Verlag, Ausgabe: -
 Inhaltsverzeichnis: -
 Art der Begutachtung: -
 Identifikatoren: eDoc: 372558
 Art des Abschluß: -

Veranstaltung

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Entscheidung

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Projektinformation

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Quelle 1

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Titel: Advanced Materials
  Alternativer Titel : Adv. Mater.
Genre der Quelle: Zeitschrift
 Urheber:
Affiliations:
Ort, Verlag, Ausgabe: -
Seiten: - Band / Heft: 9 (5) Artikelnummer: - Start- / Endseite: 417 - 420 Identifikator: -