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  Comparative study of ALD SiO2 thin films for optical applications

Pfeiffer, K., Shestaeva, S., Bingel, A., Munzert, P., Ghazaryan, L., van Helvoirt, C., Kessels, W. M. M., Sanli, U. T., Grévent, C., Schütz, G., Putkonen, M., Buchanan, I., Jensen, L., Ristau, D., Tünnermann, A., & Szeghalmi, A. (2016). Comparative study of ALD SiO2 thin films for optical applications. Optical materials express, 6(2), 660-670. doi:10.1364/OME.6.000660.

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基本情報

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資料種別: 学術論文

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作成者

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 作成者:
Pfeiffer, K.1, 著者
Shestaeva, S.2, 著者
Bingel, A.1, 2, 著者
Munzert, P.2, 著者
Ghazaryan, L.1, 著者
van Helvoirt, C.3, 著者
Kessels, W. M. M.3, 著者
Sanli, U. T.4, 著者           
Grévent, C.4, 著者           
Schütz, G.4, 著者           
Putkonen, M.5, 著者
Buchanan, I.6, 著者
Jensen, L.7, 著者
Ristau, D.7, 著者
Tünnermann, A.1, 2, 著者
Szeghalmi, A.1, 2, 著者
所属:
1Institute of Applied Physics, Abbe Center of Phontonics, Friedrich Schiller University Jena, Albert-Einstein-Str. 13, 07745 Jena, Germany, ou_persistent22              
2Fraunhofer Institute for Applied Optics and Prescision Engineering IOF, Albert-Einstein-Str. 7, 07745 Jena, Germany, ou_persistent22              
3Department of Applied Physics, Eindhoven University of Technology, Eindhoven, The Netherlands, ou_persistent22              
4Dept. Modern Magnetic Systems, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497648              
5VTT Technical Research Centre Finland, P.O. Box 1000, 02044 VTT, Espoo, Finland, ou_persistent22              
6Air Products & Chemicals Inc., 7201 Hamilton Blvd., Allentown, PA 18195, USA, ou_persistent22              
7Laser Zentrum Hannover e.V., Hollerithallee 8, 30419 Hannover, Germany, ou_persistent22              

内容説明

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キーワード: Abt. Schütz
 要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2016-01-27
 出版の状態: オンラインで出版済み
 ページ: 11
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子(DOI, ISBNなど): DOI: 10.1364/OME.6.000660
 学位: -

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訴訟

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Project information

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出版物 1

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出版物名: Optical materials express
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: Washington, DC : OSA
ページ: - 巻号: 6 (2) 通巻号: - 開始・終了ページ: 660 - 670 識別子(ISBN, ISSN, DOIなど): その他: 2159-3930
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/21593930