Imposition of defined states of stress on thin films by a wafer-curvature 
method; validation and application to aging Sn films

Stein, Jendrik; Pascher, M.; Welzel, Udo; Huegel, W.; Mittemeijer, Eric-Jan

doi:10.1016/j.tsf.2014.08.007

Imposition of defined states of stress on thin films by a wafer-curvature method; validation and application to aging Sn films

Stein, J., Pascher, M., Welzel, U., Huegel, W., & Mittemeijer, E.-J. (2014). Imposition of defined states of stress on thin films by a wafer-curvature method; validation and application to aging Sn films. Thin Solid Films, 568, 52-57. doi:10.1016/j.tsf.2014.08.007.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0024-AFEF-1 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0024-AFF0-C

資料種別: 学術論文

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Stein, Jendrik^{1, 2}, 著者
Pascher, M.³, 著者
Welzel, Udo¹, 著者
Huegel, W.², 著者
Mittemeijer, Eric-Jan^{1, 4}, 著者

所属:
1Dept. Phase Transformations; Thermodynamics and Kinetics, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497644
2Robert Bosch GmbH, ou_persistent22
3Institut für Materialwissenschaft; Universität Stuttgart, ou_persistent22
4Institut für Materialwissenschaft, Universität Stuttgart, ou_persistent22

内容説明

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キーワード: Abt. Mittemeijer

要旨: -

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言語: eng - English

日付: 出版: 2014

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: DOI: 10.1016/j.tsf.2014.08.007

学位: -

訴訟

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出版物名: Thin Solid Films

省略形 : Thin Solid Films

種別: 学術雑誌

著者・編者:

所属:

出版社, 出版地: Lausanne, Switzerland, etc. : Elsevier

ページ: - 巻号: 568 通巻号: - 開始・終了ページ: 52 - 57 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: ISSN: 0040-6090
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/954925449792

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