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  Point-spread functions for backscattered imaging in the scanning electron microscope

Hennig, P., & Denk, W. (2007). Point-spread functions for backscattered imaging in the scanning electron microscope. Journal of Applied Physics, 102(12):, pp. 1-8. doi:10.1063/1.2817591.

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資料種別: 学術論文

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 作成者:
Hennig, P1, 著者           
Denk, W, 著者
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1External Organizations, ou_persistent22              

内容説明

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キーワード: -
 要旨: One knows the imaging system's properties are central to the correct interpretation of any image. In a scanning electron microscope regions of different composition generally interact in a highly nonlinear way during signal generation. Using Monte Carlo simulations we found that in resin-embedded, heavy metal-stained biological specimens staining is sufficiently dilute to allow an approximately linear treatment. We then mapped point-spread functions for backscattered-electron contrast, for primary energies of 3 and 7 keV and for different detector specifications. The point-spread functions are surprisingly well confined (both laterally and in depth) compared even to the distribution of only those scattered electrons that leave the sample again.

資料詳細

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言語:
 日付: 2007-12
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: -
 識別子(DOI, ISBNなど): DOI: 10.1063/1.2817591
BibTex参照ID: HennigD2007
 学位: -

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出版物 1

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出版物名: Journal of Applied Physics
  省略形 : J. Appl. Phys.
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: New York, NY : AIP Publishing
ページ: - 巻号: 102 (12) 通巻号: 123101 開始・終了ページ: 1 - 8 識別子(ISBN, ISSN, DOIなど): ISSN: 0021-8979
CoNE: https://pure.mpg.de/cone/journals/resource/991042723401880