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  Periodic pillar structures by Si etching of multilayer GeSi/Si islands

Zhong, Z., Katsaros, G., Stoffel, M., Costantini, G., Kern, K., Schmidt, O. G., Jin-Phillipp, N. Y., & Bauer, G. (2005). Periodic pillar structures by Si etching of multilayer GeSi/Si islands. Applied Physics Letters, 87(26):.

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基本情報

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-48A6-D 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-48A7-B
資料種別: 学術論文
その他のタイトル : Appl. Phys. Lett.

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作成者

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 作成者:
Zhong, Z.1, 著者
Katsaros, G.1, 著者
Stoffel, M.1, 著者
Costantini, G.1, 著者
Kern, K.1, 著者
Schmidt, O. G.1, 著者
Jin-Phillipp, N. Y.2, 3, 4, 著者           
Bauer, G.5, 著者
所属:
1Max Planck Society, ou_persistent13              
2Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497657              
3Dept. Metastable and Low-Dimensional Materials, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497645              
4Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497669              
5Max Planck Inst Festkorperforsch, D-70569 Stuttgart, Germany; Johannes Kepler Univ, Inst Semicond Phys, A-4040 Linz, Austria., ou_persistent22              

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; MPI für Festkörperforschung; Abt. Dosch; Kern;
 要旨: -

資料詳細

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言語: eng - English
 日付: 2005-12-26
 出版の状態: 出版
 ページ: -
 出版情報: -
 目次: -
 査読: 査読あり
 識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 256539
ISI: 000234338700074
 学位: -

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訴訟

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出版物 1

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出版物名: Applied Physics Letters
  出版物の別名 : Appl. Phys. Lett.
種別: 学術雑誌
 著者・編者:
所属:
出版社, 出版地: -
ページ: - 巻号: 87 (26) 通巻号: 263102 開始・終了ページ: - 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: ISSN: 0003-6951