Electron energy-loss spectroscopy study of a multilayered SiOx and SiOxCy film 
prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Zhang, Z.; Wagner, T.; Sigle, W.; Schulz, A.

Electron energy-loss spectroscopy study of a multilayered SiO_x and SiO_xC_y film prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition

Zhang, Z., Wagner, T., Sigle, W., & Schulz, A. (2006). Electron energy-loss spectroscopy study of a multilayered SiO_x and SiO_xC_y film prepared by plasma-enhanced chemical vapor deposition. Journal of Materials Research, 21, 608-612.

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アイテムのパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-4805-A 版のパーマリンク: https://hdl.handle.net/11858/00-001M-0000-0010-4806-8

資料種別: 学術論文

その他のタイトル : J. Mater. Res.

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Zhang, Z.¹, 著者
Wagner, T.², 著者
Sigle, W.^{1, 3}, 著者
Schulz, A.⁴, 著者

所属:
1Former Dept. Microstructure Interfaces, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497657
2Central Scientific Facility Thin Film Laboratory, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497640
3Stuttgart Center for Electron Microscopy, Max Planck Institute for Intelligent Systems, Max Planck Society, ou_1497669
4Institut für Plasmaforschung, Universität Stuttgart, Stuttgart, Germany, ou_persistent22

内容説明

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キーワード: MPI für Metallforschung; Emeriti and Others; Stuttgart Center for Electron Microscopy (StEM); Abt. Arzt;

要旨: -

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言語: eng - English

日付: 出版: 2006

出版の状態: 出版

ページ: -

出版情報: -

目次: -

査読: 査読あり

識別子（DOI, ISBNなど）: eDoc: 292948

学位: -

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出版物 1

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出版物名: Journal of Materials Research

出版物の別名 : J. Mater. Res.

種別: 学術雑誌

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出版社, 出版地: -

ページ: - 巻号: 21 通巻号: - 開始・終了ページ: 608 - 612 識別子（ISBN, ISSN, DOIなど）: -

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